中国的半导体自主化战略,正在从全面布局转向精准攻坚。继光刻机、芯片之后,长期被美日企业牢牢把控的光刻胶,正成为新的博弈战场。 而就在这个被外界普遍认为"卡脖子"最深的环节上,国产厂商不仅实现了技术突破,还迎来了订单爆单的局面,部分企业的交付排期甚至已经延伸到了二七年。 根据香港《南华早报》3月16日的报道,全国人大代表、国内光刻胶龙头企业徐州博康化学科技股份有限公司董事长傅志伟在两会期间透露,中国光刻胶产业正从"单点突破"迈向"体系发展",未来几年将进入加快突破期和规模化应用的关键阶段。 这一表态具有相当的分量,因为它来自国内光刻胶行业最靠前的那一批企业。 傅志伟明确表示,徐州博康计划在五年之内实现多款先进制程核心光刻胶的量产。他在接受采访时介绍,公司已经攻克了KrF和ArF中高端光刻胶的全链条技术,相关产品已通过头部晶圆厂的验证,并且正在逐步大幅增加生产数量。 他特别强调,公司将调动最核心的资源,攻坚更先进制程节点的高端光刻胶研发。换句话说,徐州博康下一步要啃的,是比当前已经突破的KrF、ArF更靠上的硬骨头。 相较于ASML光刻机或芯片这些概念,光刻胶在舆论场上曝光度偏低,但它在芯片制造中的角色不可替代。 它是一种对光敏感的有机化学材料,在光刻过程中涂抹在晶圆表面,经过曝光和显影形成图案化薄膜,作为蚀刻或离子注入等后续工艺的掩膜。没有合格的光刻胶,再先进的光刻机也只能是摆设。 按曝光波长分类,光刻胶可分为七大类,包括g线、i线、KrF、ArF,以及最先进的EUV和电子束类型。其中KrF、ArF和EUV属于最先进的光刻技术,直接决定了先进制程的分辨率和良率。 g线和i线对应436纳米和365纳米光源,服务于90纳米以上的成熟制程,这也是国产化最早站稳的区间。KrF对应248纳米波长,覆盖28纳米到90纳米制程,正是目前国内产能增长最猛的一档。 再往上,ArF干式和ArFi浸没式对应193纳米波长,是14纳米到7纳米逻辑芯片以及先进3D闪存芯片必须依赖的材料。而最尖端的EUV光刻胶,对应13.5纳米极紫外光,用于5纳米以下工艺。 长期以来,全球高端集成电路用光刻胶市场约有95%的市占率被日本和美国企业占据,主要包括日本的JSR、信越化学、TOK、住友化学,以及美国的杜邦等,其中日本的JSR和TOK在高端EUV光刻胶领域处于垄断地位。 中国在KrF和ArF等关键领域的国产化率长期偏低,形成了明显的技术瓶颈。因此徐州博康把KrF和ArF作为攻坚方向,不是随口一提,而是直接对准最硬的两道关口。 更关键的一点在于产业链的完整性。徐州博康目前已经实现了从单体、树脂、光酸到最终光刻胶产品的全产业链自主化。 这个链条的每一环节过去都可能成为被截断的风险点——即便能做出成品光刻胶,上游的单体、树脂或光酸只要有一处依赖进口,整个链条就谈不上真正的自主可控。只有把这些关键原材料都做出来,才算真正把主动权握在自己手里。 目前除EUV之外,公司的KrF和ArF中高端产品已通过头部晶圆厂的验证,正逐步大幅增加相关生产数量。 晶圆厂验证是光刻胶商业化中最耗时也最苛刻的一步,一旦通过,意味着后续量产和导入都有了基础。 这一轮突破也与国家层面的政策支撑相呼应。"十五五"规划明确提出要对集成电路产业"做精、做细、做好"成熟制程,提高先进制程的制造能力,加快发展关键装备、材料和零部件。 光刻胶正是这条逻辑线上最典型的"关键材料",政策的明确指向,为企业的中长期投入提供了稳定预期。 从行业格局看,国产突破并不是孤例。 根据内地财通证券发布的数据,ArF或ArFi光刻胶领域已经有多间公司处于开发和验证阶段,徐州博康不是唯一的一家。 专攻ArF和ArFi光刻胶的还包括上海新阳和南大光电。上海新阳已经建成i线、KrF、ArF干法和ArF浸没式完整的研发生产平台,并实现了批量化销售。 注意这里的关键词是"完整"和"批量化"——它说明上海新阳的光刻胶业务已经跨过了从实验室样品到工业量产的那道鸿沟。 南大光电在二四年则有三款ArF光刻胶实现了千万人民币级别的收入,虽然规模还不算大,但对于一个此前几乎被日美完全占据的高端市场而言,国产厂商拿到真金白银的订单,意义不只是财务数字本身。 多家企业齐头并进,意味着国内光刻胶产业的突破不再依赖某一家企业的孤军深入,而是形成了一个覆盖不同技术路线的梯队。这种梯队式的推进,恰恰是傅志伟所说的"从单点突破迈向体系发展"的最直接体现。 从市场端看,国产光刻胶的热度正在被下游用订单投票。有消息显示,部分国产光刻胶企业的新增订单已经达到千加仑级别,大约相当于3.8吨,这个数量对一条中型光刻产线来说,足够稳稳运行约半个月。 而部分企业的订单排期更为紧张,已经延伸到了二七年。 订单量的激增以及远期排期的出现,一方面反映出下游晶圆厂的真实需求,另一方面也

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